Fabrication of nano-micro hybrid channel using photolithography and analysis properties

포토리소그래피를 이용한 나노-마이크로 하이브리드 채널제작 및 특성분석

  • 신세순 (한경대학교 화학공학과) ;
  • 이재종 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
  • 김영호 (한경대학교 화학공학과) ;
  • 박현하 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
  • 임형준 (한국기계연구원 나노공정연구실)
  • 발행 : 2013.05.29