Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2013.05a
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- Pages.573-574
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- 2013
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- 2005-8446(pISSN)
Demolding Simulation with a Cohesive Zone Model for Nanoimprint Lithography
Cohesive Zone Model 을 이용한 나노임프린트 리소그래피 공정에서의 이형과정 시뮬레이션
- Published : 2013.05.29