Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
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Pages.179-180
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2013
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A Study on the Improvement of PRE and Pattern Damage by Optimization of Physical Cleaning Technology

Physical Cleaning Process 기술 최적화를 통한 PRE(Particle Removal Efficiency) 및 Pattern Damage 개선에 관한 연구

배인광 (삼성전자 공과대학교 반도체 공학부) ;
홍진석 (삼성전자) ;
백재직 (삼성전자) ;
김종규 (삼성전자)

Published : 2013.05.29

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