한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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- Pages.443-443
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- 2013
유기소자의 Encapsulation 박막으로 사용된 원자층 및 분자층 증착 $Al_2O_3$ /Alucone 박막의 특성 연구
- 박민우 (성균관대학교 물리학과) ;
- 여동현 (성균관대학교 물리학과) ;
- 원범희 (성균관대학교 물리학과) ;
- 이지혜 (성균관대학교 물리학과) ;
- 이채민 (성균관대학교 물리학과) ;
- 하명훈 (성균관대학교 물리학과) ;
- 정동근 (성균관대학교 물리학과)
- Park, Min-U ;
- Yeo, Dong-Hyeon ;
- Won, Beom-Hui ;
- Lee, Ji-Hye ;
- Lee, Chae-Min ;
- Ha, Myeong-Hun ;
- Jeong, Dong-Geun
- 발행 : 2013.02.18
초록
유기광전자소자는 아주 얇은 두께로 제작 가능하여 휘어지는 소자를 구현할 수 있다. 이런 장점 때문에 플렉서블 디스플레이, 플렉서블 태양전지 구현에 가장 적합한 소자로 각광받고 있다. 하지만 수분이나 산소에 의한 소자내의 유기물과 금속의 열화로 소자의 수명이 줄어들기 때문에 산소 및 수분 침투를 방지하는 봉지기술(encapsulation)이 필요하다. 본 연구는 원자층 증착법을 이용한 무기박막층과 분자층 증착법을 이용한 폴리머박막의 적층구조를 이용하여 유기소자에 적용할 수 있는 수분 투과 방지막을 제작하였다. 무기박막층으로는 trymethylaluminum (TMA)과