Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2013.02a
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- Pages.192-192
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- 2013
고 투과, 저 저항 Ge-doped $In_2O_3$ (IGO) 투명 전극의 특성 평가 연구
- Published : 2013.02.18
Abstract
본 연구에서는 RF/DC 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여co-sputtering 방법으로 성장시킨 고이동도를 갖는Ge-doped
Keywords
- Sputtering system;
- GeO2-doped $In_2O_3$;
- Transparent electrodes;
- Organic solarcells;
- Organic Light Emitting Diodes Lewis acidstrength