Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2013.02a
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- Pages.179-179
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- 2013
Al-Si-N Thin Film Coating for Polycarbonate
- Kim, Seong-Min ;
- Mun, Seon-U ;
- Kim, Gyeong-Hun ;
- Jang, Jin-Hyeok ;
- Lee, Seung-Min ;
- Kim, Jeong-Su ;
- Im, Sang-Ho ;
- Han, Seung-Hui
- 김성민 (한국과학기술연구원 광전하이브리드연구센터) ;
- 문선우 (한국과학기술연구원 광전하이브리드연구센터) ;
- 김경훈 (한국과학기술연구원 광전하이브리드연구센터) ;
- 장진혁 (한국과학기술연구원 광전하이브리드연구센터) ;
- 이승민 (한국과학기술연구원 광전하이브리드연구센터) ;
- 김정수 (한국과학기술연구원 광전하이브리드연구센터) ;
- 임상호 (고려대학교 신소재공학과) ;
- 한승희 (한국과학기술연구원 광전하이브리드연구센터)
- Published : 2013.02.18
Abstract
현재 자동차 분야에서 차량 경량화를 통해 연비 향상 및 에너지 효율 향상을 기대하고 있으며, 차량 경량화의 한 수단으로 자동차용 유리를 고강도 투명 플라스틱 소재인 PC (Polycarbonate)로 대체하고자 하는 연구가 활발히 이루어지고 있다. 그러나, PC의 낮은 내마모 특성과 자외선에 의한 열화 및 변색 현상은 해결하여야 할 중요한 문제점으로 지적되고 있다. 본 연구에서는, PC의 내마모 특성을 향상시키기 위하여 transmittance가 확보되고, 고경도 특성을 갖는 Al-Si-N 박막 증착에 대한 연구를 하였다. Al-Si-N 박막 증착을 위하여 ICP-assisted reactive magnetron sputtering 장비를 이용하였으며, 고경도 특성을 갖는 Al-Si-N 박막을 제조하였다. 분석 장비로는 박막의 chemical state와 crystallinity를 확인하기 위하여 XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy), AES (Auger electron spectrscopy)와 XRD (X-ray diffraction)를 이용하여 분석을 수행하였으며, Knoop