Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2013.08a
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- Pages.253.2-253.2
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- 2013
진공 밀봉된 탄소나노튜브 기반 디지털 엑스선 튜브
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Song, Yun-Ho
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Kim, Jae-U
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Jeong, Jin-U
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Gang, Jun-Tae
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Choe, Seong-Yeol
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- Choe, Jeong-Yong ;
- An, Seung-Jun
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송윤호
(한국전자통신연구원)
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김재우
(한국전자통신연구원)
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정진우
(한국전자통신연구원)
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강준태
(한국전자통신연구원)
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최성열
(한국전자통신연구원)
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- 최정용 (한국전자통신연구원) ;
- 안승준 (한국전자통신연구원)
- Published : 2013.08.21
Abstract
탄소나노튜브(CNT)는 나노미터의 직경과 마이크로미터의 길이를 갖는 기하학적 구조와 우수한 전계방출 특성으로 디지털 엑스선 소스와 같은 차세대 전자소스 소자에 활용되고 있다. 본 발표에서는 고밀착성의 CNT 에미터와 진공 브레이징 공정 개발을 기초로 설계, 제작된 CNT 기반 디지털 엑스선 튜브에 대해서 논의한다. 나노 필러를 함유한 페이스트를 제조하여 캐소드 기판에 대한 CNT 에미터의 밀착성을 향상시켰으며, 진공 브레이징을 고온에서 최적화함으로써 진공 밀봉된 엑스선 튜브내의 진공도를 안정적으로 확보하였다. 유방암 진단을 위한 디지털 단층합성 시스템용으로 50 mA 이상의 고전류 엑스선 튜브를 제작함과 아울러 근접 암치료 또는 강내형 엑스선 영상용으로 6 mm 이하의 직경을 갖는 초소형 엑스선 튜브를 제작하였다. 개발된 CNT 기반 엑스선 튜브는 우수한 안정성과 신뢰성을 보이며, 에너지와 강도를 쉽게 제어할 수 있는 디지털 특성도 잘 나타냈다.