한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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- 2013
결정질 실리콘 태양전지 적용을 위해 PA-ALD를 이용한 $Al_2O_3$ 최적화 연구
초록
Atomic layer deposition (ALD)에 의해 증착된 알루미늄 산화막(
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