한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2012년도 추계총회 및 학술대회 논문집
- /
- Pages.192-193
- /
- 2012
삼중 프로브와 ICCD-OES를 이용한 modulated pulse plasma의 분석
Analysis of a modulated pulse plasma system by a triple probe and ICCD-OES
초록
2차 플라즈마를 사용하지 않고도 스퍼터링된 입자의 높은 이온화율을 얻을 수 있는 고전력 마그네트론 스퍼터링 기술은 최대
키워드