Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2012.11a
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- Pages.112-112
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- 2012
Characteristics of Zn-Mg coatings synthesized by unbalanced magnetron sputtering process
비대칭 마그네트론 스퍼터링을 이용한 Zn-Mg 박막 합성 및 특성 연구
- Ra, Jeong-Hyeon ;
- Lee, Yu-Jin ;
- Kim, Dong-Jun ;
- Kim, Seong-Min ;
- Lee, Sang-Yul ;
- Park, Sang-Min ;
- Lee, Sang-Yong
- 라정현 (한국항공대학교 표면기술응용연구센터) ;
- 이유진 (한국항공대학교 표면기술응용연구센터) ;
- 김동준 (한국항공대학교 표면기술응용연구센터) ;
- 김성민 (한국항공대학교 표면기술응용연구센터) ;
- 이상율 (한국항공대학교 표면기술응용연구센터) ;
- 박상민 (안동대학교 신소재공학부) ;
- 이상용 (안동대학교 신소재공학부)
- Published : 2012.11.08
Abstract
현재 표면처리 산업에서 흔히 사용되는 아연 습식 도금의 환경 오염문제, Zn의 고갈 문제 등의 해결책으로 건식코팅 공정의 적용, 대체 코팅물질의 개발에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이에 일환으로 본 연구에서는 비대칭 마그네트론 스퍼터링 공정을 이용하여 Zn-Mg 합금 타겟의 Mg 함량을 0wt.%에서 10wt.%로 변화하며 Zn-Mg 합금 박막을 합성하였고, 박막의 특성을 분석하였다.
Keywords