Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Study on Structural Properties of Zn-Mg Thin Film Formed on Plasma Treated Cold Rolled Steel Using Transmission Electron Microscopy

투과전자현미경을 이용한 플라즈마 표면 처리된 냉연 강판에 증착된 Zn-Mg 박막의 구조적 특성 연구

  • 최철종 (전북대학교 반도체과학기술학과) ;
  • 이원기 (전북대학교 반도체과학기술학과) ;
  • 김종희 (전북대학교 반도체과학기술학과)
  • Published : 2012.05.31
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Ar 이온빔을 이용한 플라즈마 표면 처리 공정이 냉연 강판 위에 증착된 Zn-Mg 코팅 박막의 구조적 특성에 미치는 영향을 규명하기 위해 투과전자현미경(TEM, Transmission Electron Microscopy)을 이용한 미세 나노 계면 분석을 수행하였다. 냉연 강판위에 형성된 자연 산화막이 Ar 플라즈마 표면 처리에 의해서 효과적으로 제거 되는 현상을 관찰 하였다. Ar 플라즈마 표면 처리 횟수가 증가됨에 따라, Zn-Mg 박막의 입계 크기가 증가하며, 이는 플라즈마 전처리 공정으로 냉연 강판 표면이 활성화가 촉진되어 Zn-Mg 박막의 결정 성장이 원활히 이루어졌기 때문으로 판단된다.

Keywords