한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

선형 이온빔 소스의 20 kHz 방전을 이용한 DLC 박막 증착 연구

Diamon-like Carbon Coatings Prepared by Linear Ion Source with 20 kHz Discharge

  • 이승훈 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 김도근 (한국기계연구원 부설 재료연구소)
  • 발행 : 2012.05.31
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

Diamond like carbon(DLC) 박막은 고경도, 초저마찰 특성을 요구하는 마찰분야에 널리 사용되며, 대면적 저가 코팅 방법 개발 및 물성 조절 기술이 요구된다. 본 연구에서는 선형 이온 소스를 통한 DLC 박막의 대면적 코팅 방법은 연구했으며, 방전 주파수 조절에 따른 박막 물성 조절 특성을 분석하였다.

키워드