Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2012.05a
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- Pages.249-250
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- 2012
The Effect of Laser on Silicon thin film measurement in Raman spectroscopy
- Published : 2012.05.31
Abstract
Raman spectroscopy는 미세결정질 실리콘 박막의 분석에 널리 사용되고 있으며 특히, 측정 자료를 통해 미세결정질 분율을 알아낼 수 있다. Raman 측정 시 조사되는 laser의 특성에 따라 박막시편 측정값에 일련의 변화가 나타나는 것을 알 수 있었다.
Keywords