Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

The Effect of Laser on Silicon thin film measurement in Raman spectroscopy

  • Published : 2012.05.31
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Abstract

Raman spectroscopy는 미세결정질 실리콘 박막의 분석에 널리 사용되고 있으며 특히, 측정 자료를 통해 미세결정질 분율을 알아낼 수 있다. Raman 측정 시 조사되는 laser의 특성에 따라 박막시편 측정값에 일련의 변화가 나타나는 것을 알 수 있었다.

Keywords