Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2012.05a
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- Pages.205-206
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- 2012
Characterization on high temperature durability of InSbO4 deposited by RF magnetron sputtering
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO4 박막의 물성 평가
- Published : 2012.05.31
Abstract
Keywords