Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2012.05a
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- Pages.174-175
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- 2012
High temperature characteristic of cathodic arc deposited ZrO2/Al2O3 thin films
음극 아크법으로 증착한 ZrO2/Al2O3 박막의 고온특성
- Published : 2012.05.31
Abstract
음극 아크법으로 증착한
Keywords