Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.05a
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Pages.149-150
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Controling of Process Parameters to Improve Flatness of Wafers in Sigle Side Lapping

웨이퍼 평탄도 향상을 위한 단면래핑 공정 인자 제어

이태경 (한국생산기술연구원) ;
김형재 (한국생산기술연구원) ;
이상직 (한국생산기술연구원) ;
김도연 (한국생산기술연구원) ;
박철진 (한국생산기술연구원) ;
정해도 (부산대학교 기계공학부)

Published : 2012.05.30

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Abstract

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