Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.10a
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Pages.351-352
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

CVD Process STI Void Mechanism to searching examinations and improvement

CVD 공정 STI Void Mechanism 규명 및 개선

김나경 (삼성전자 공과대학교 반도체 공학과) ;
김경호 (삼성전자) ;
이호철 (삼성전자)

Published : 2012.10.24

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Abstract

Keywords

Chemical Vapor Deposition(CVD)

STI Void 개선;