Proceedings of the Korea Multimedia Society Conference (한국멀티미디어학회:학술대회논문집)
- 2012.05a
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- Pages.38-39
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- 2012
Wafer Position Recognition Based on Generalized Symmetry Transform
일반화 대칭 변환 기반의 웨이퍼 위치 인식
- Jun, Mi-Jin (Dept. of Game Mobile Contents, Keimyung University) ;
- Kang, Su-Myung (Dept. of Game Mobile Contents, Keimyung University) ;
- Lee, Joon-Jae (Dept. of Game Mobile Contents, Keimyung University)
- Published : 2012.05.18
Abstract
본 논문에서는 반도체 생산 공정 중 클리닝 공정 과정에서 웨이퍼가 정확한 위치에 장착되었는지를 판단하기 위하여 투영 변환을 이용하여 원형 모양 웨이퍼로 복원하고 에지를 추출한 후 일반화 대칭 변환(Generalized Symmetry Transform, GST) 방법을 적용하여 웨이퍼의 윤곽을 검출하여 위치를 검사하는 방법을 제안한다.
Keywords