Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.08a
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- Pages.424-424
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- 2012
플라즈마 처리를 통한 Flexible ZnO nanowire 발전기 제작 및 효율향상 연구
- Park, Seong-Hwak ;
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Lee, Gyeong-Il
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Lee, Cheol-Seung
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- Park, Ji-Seon ;
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Kim, Seon-Min
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- Kim, Seong-Hyeon ;
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Jo, Jin-U
- 박성확 (전자부품연구원) ;
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이경일
(전자부품연구원) ;
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이철승
(전자부품연구원) ;
- 박지선 (전자부품연구원) ;
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김선민
(전자부품연구원) ;
- 김성현 (전자부품연구원) ;
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조진우
(전자부품연구원)
- Published : 2012.08.20
Abstract
ZnO는 수열합성법을 통해 저온에서 단결정으로 성장할 수 있기 때문에 광전소자 및 압전소자로 응용되고 있으나, 성장된 ZnO nanowire 내부 산소 결함 및 표면에 OH기의 흡착에 의해 소자특성 저하를 발생시킨다. 본 연구에서는 ZnO의 결함의 최소화를 위해 Glass 기판에 수열합성법으로 성장된 ZnO nanowire를 ICP 플라즈마 장치를 이용하여 O2 25 sccm, Base Pressure