Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.08a
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- Pages.206-206
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- 2012
게터조합펌프의 배기속도 측정
- Kim, Yong-Deok ;
- Park, Seok-Jun ;
- Jo, Jeong ;
- Yang, So-Hui ;
- Park, Jong-Do ;
- Ha, Tae-Gyun ;
- Jeong, Seok-Min
- 김용덕 (한동글로벌학교) ;
- 박석준 (한동글로벌학교) ;
- 조정 (한동글로벌학교) ;
- 양소희 (한동글로벌학교) ;
- 박종도 (포항가속기연구소) ;
- 하태균 (포항가속기연구소) ;
- 정석민 (포스텍물리학과)
- Published : 2012.08.20
Abstract
초고진공 시스템에 사용되는 조합펌프(게터펌프+이온펌프)의 배기속도를 측정하여 보고한다. 이 펌프는 좁은 공간 내에 설치가능 하고 비교적 큰 배기속도를 가지도록 설계되었다. 이온펌프는 소형(30 l/s) 이극형이며 게터펌프는 ZrVFe 합금의 모듈형태로 1개에서 3개까지 장착되도록 하였다. 이 펌프의 설계 성능을 검증하기 위하여 초고진공상태의 잔류기체 구성비에 가까운 기체조성비(수소 90%, 일산화탄소 10%)로 그 배기속도를 측정하였다. 배기속도는 미국진공학회 표준측정순서를 따랐으며 도달압력도 측정하여 보고한다.