한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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- Pages.407-407
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- 2012
Li-doped ZnO 박막의 제작과 특성에 관한 연구
- 심은희 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 이초은 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 정의완 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 이진용 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 강명기 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 노가현 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 홍승수 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 허성은 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 김두수 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 이영민 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 김득영 (동국대학교 반도체과학과)
- Sim, Eun-Hui ;
- Lee, Cho-Eun ;
- Jeong, Ui-Wan ;
- Lee, Jin-Yong ;
- Gang, Myeong-Gi ;
- No, Ga-Hyeon ;
- Hong, Seung-Su ;
- Heo, Seong-Eun ;
- Kim, Du-Su ;
- Lee, Yeong-Min ;
- Kim, Deuk-Yeong
- 발행 : 2012.02.08
초록
본 연구에서는 p형 전도 특성을 갖는 ZnO 박막 연구를 위해 RF 마그네트론 스퍼터 법으로 Li이 1 at.% 첨가된 ZnO target을 이용하여 ZnLiO 박막을 제작하였다. ZnLiO 박막은