한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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- Pages.394-395
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- 2012
투명산화물반도체 a-IGZO 박막트랜지스터의 제작과 채널두께에 따른 전기적특성분석
- 발행 : 2012.02.08
초록
본 연구에서는 게이트 절연막
본 연구에서는 게이트 절연막