정전기력을 고려한 MEMS 가속도계 진동해석

Vibration Analysis of MEMS Accelerometer Undertaking Electrostatic Force

  • 김형영 (한양대학교 대학원 기계공학과) ;
  • 유홍희 (한양대학교 기계공학부)
  • 발행 : 2012.04.26