Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

A study on morphology and corrosion resistance of Mg thin films prepared by DC sputtering method

DC 스퍼터링법에 의해 제작된 Mg막의 몰포로지와 내식 특성 연구

  • 배일용 (한국해양대학교 기관공학부) ;
  • 윤용섭 (한국해양대학교 기관공학부) ;
  • 이유송 (한국해양대학교 기관공학부) ;
  • 김여중 (해군진해기지사령부 군수참모실) ;
  • 이명훈 (한국해양대학교 기관공학부)
  • Published : 2011.05.19
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Abstract

본 연구에서는 99.99% Mg을 증착금속으로 하여 DC 스퍼터링법으로 Al, Zn 중간층의 삽입유무에 따라 Mg막을 제작하였다. 또한 제작과정 중 진공도의 조건에 따라 변화하는 기판상의 증착 Mg 입자와 잔존 Ar 가스의 상대적인 함량비가 막의 결정구조학적 결정배향성과 표면 몰포로지의 형성에 영향을 주는 관계를 열에너지에 의한 표면확산 이동도 관점 뿐만 아니라 흡착 인히비션 및 흡장 효과도 분석-검토하였다. 그리고 Mg막의 물성관계의 해석은 Zn, Al등의 중간층 유무에 따라 구분 해석함으로써 이들의 몰포로지와 결정배향성의 차이가 내식성에 미치는 영향에 대해서 비교 및 평가하였다.

Keywords