Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2011.05a
- /
- Pages.183-183
- /
- 2011
Fabrication of yttrium oxide thin film on ITO by RF magnetron sputtering for TTFT
RF magnetron sputtering법으로 ITO 위에 증착한 yttrium oxide의 특성
- Published : 2011.05.19
Abstract
TTFT(Transparent TFT)의 유전체로 사용되는 절연층으로 사용이 기대되는 yttrium oxide를 ITO 위에 RF magnetron sputtering법으로 상온 증착하고 구조적 특성을 분석하고 조성 및 표면 상태를 확인하였으며 유전 특성을 분석하였다.
Keywords