한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2011년도 춘계학술대회 및 Fine pattern PCB 표면 처리 기술 워크샵
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- Pages.178-179
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- 2011
고밀도 플라즈마 반응성 스퍼터링 법으로 알루미늄 기판과 스테인리스 기판에 증착된 2차 연료 전지용 금속 분리판을 위한 TiN 박막의 특성 연구
Properties of TiN Thin Films deposited on Aluminum and Stainless substrates by DC Reactive Magnetron Sputtering with Electromagnetic Field System
- 발행 : 2011.05.19