Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2011.05a
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- Pages.139-139
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- 2011
IGZO films deposited by DC and DC pulsed magnetron sputtering
DC와 DC pulsed magnetron sputtering을 이용한 IGZO 박막 증착
- Kim, Min-Su ;
- Kim, Se-Yun ;
- Seong, Sang-Yun ;
- Jo, Gwang-Min ;
- Hong, Hyo-Gi ;
- Lee, Jun-Hyeong ;
- Kim, Jeong-Ju ;
- Heo, Yeong-U
- 김민수 (경북대학교 신소재 공학부) ;
- 김세윤 (경북대학교 신소재 공학부) ;
- 성상윤 (경북대학교 신소재 공학부) ;
- 조광민 (경북대학교 신소재 공학부) ;
- 홍효기 (경북대학교 신소재 공학부) ;
- 이준형 (경북대학교 신소재 공학부) ;
- 김정주 (경북대학교 신소재 공학부) ;
- 허영우 (경북대학교 신소재 공학부)
- Published : 2011.05.19
Abstract
DC magnetron sputtering과 DC pulsed magnetron sputtering을 이용하여 공정 압력별,
Keywords