Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2011.05a
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- Pages.135-136
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- 2011
실리콘 기판위의 증착된 AAO Barrier Layer의 $Cl_2/BCl_3$ Neutral Beam Etching
- Published : 2011.05.19
Abstract
본 연구에서는 실리콘 기판위의 형성된 AAO (Anodic Aluminum Oxide)의 barrier layer를
Keywords