Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Discharge Gap Effects on Ion Beam Extraction in the Closed Drift Linear Ion Source

방전 간격에 따른 Closed Drift 선형 이온원의 이온빔 인출 특성 연구

  • 이승훈 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 김재운 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 김창수 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 강재욱 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 김도근 (한국기계연구원 부설 재료연구소)
  • Published : 2011.05.19
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

300 mm급 선형 이온원의 방전 간격에 따른 방전 및 이온빔 인출 특성 변화를 연구하였다. 방전 간격이 2 mm 에서 3 mm로 증가함에 따라 동일 방전 전압에서 방전 전류가 약 20% 증가하였으며, 이는 방전 공간 내 플라즈마 발생 증가에 의한 것임을 object oriented particle in cell 전산모사를 통해 확인하였다.

Keywords