Principle Measurement Method of Metals Resistivity

금속 비저항의 정밀측정 방법

  • Kang, Jeon-Hong (Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS)) ;
  • Yu, Kwang-Min (Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS)) ;
  • Park, Young-Tae (Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS)) ;
  • Lee, Sang-Hwa (Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS)) ;
  • Ryu, Kwan-Sang (Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS))
  • Published : 2011.07.20

Abstract

금속의 비저항 측정방법은 4단자 방법, van der Pauw 방법, Four-Point Probe(FPP) 방법, eddy current 방법 등이 있다. 이들의 측정방법은 다르지만 동일한 시료에 대해 평가한 비저항은 측정 불확도 범위 내에서 일치하여야 한다. 이에 따라 균질한 비자성 금속(STS 316)을 선정한 후 비저항을 평가한 결과 4단자와 van der Pauw 방법에 의한 비저항(도전율)은 각각 75.86 ${\mu}{\Omega}{\cdot}cm$(2.273 %IACS)과 75.84 ${\mu}{\Omega}{\cdot}cm$(2.273 %IACS)로서 거의 동일한 결과를 나타냈으며, Four Point Probe(FPP) 방법은 75.91 ${\mu}{\Omega}{\cdot}cm$(2.271 %IACS), eddy current 방법은 76.63 ${\mu}{\Omega}{\cdot}cm$(2.25 %IACS)으로 나타났다.

Keywords