Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2011.07a
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- Pages.1517-1518
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- 2011
Property of film heater using ZnO nanowires
ZnO 나노선을 이용한 면 발열 특성
- No, I.J. (INHA Univ.) ;
- Kim, S.H. (Korea Electronics Technology Institute) ;
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Lee, K.I.
(Korea Electronics Technology Institute)
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Shin, P.K.
(INHA Univ.)
;
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Cho, J.W.
(Korea Electronics Technology Institute)
- Published : 2011.07.20
Abstract
수열합성법을 이용하여 ZnO 나노선을 합성 하였다. 리사이클 공정을 통해 얻은 양질의 길고 수직한 나노선은 기판과 분리공정을 통해 분리된 후 유전체 층이 올라간 실리콘 웨이퍼 위에 스프레이 공정을 통해 고르게 분사 되었고 열처리 공정을 통해 면 발열 소자로서 제작 되었다. 소자 양단 전극에 전계를 인가한 후 열화상카메라를 통해 발열상태를 확인 하였다.
Keywords