한국추진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference)
- 한국추진공학회 2011년도 제37회 추계학술대회논문집
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- Pages.493-496
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- 2011
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- 1975-342X(pISSN)
이온빔 기술 리뷰
A Review of Ion Beam Technology
초록
본 논문은 이온빔 기술에 대하여 발표된 논문을 중심으로 조사하였다. 이온빔의 기술은 기질이나 가공물에서 표면을 깎아내는 기법과 이와 반대로 표면에 이온을 증착 개질 시키는 두 가지로 크게 대별할 수 있고 문헌상으로는 후자가 더욱 활발하다.
In this paper, ion beam technology was investigated mainly through the published papers. There are two different types of method application. One method is to remove the material from the substrate, the other one is deposited to the surface of the substrate or specimen. Based on the literature review there are 3-4 times more published research papers related to the deposition than those of the removal.