Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2011.06a
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  • Pages.1051-1052
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  • 2011
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Atomic Force Microscope(AFM) Vibration Reduction Algorithm using a Cantilever as a Vibration sensor

진동 측정용 켄티레버를 이용한 원자현미경의 진동 제거 알고리즘

  • 정지성 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 정종규 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 김철수 (한국자동차부품연구소) ;
  • 박기환 (광주과학기술원 기전공학과)
  • Published : 2011.06.01
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Abstract

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