한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

이온빔 조사 경로에 따른 집속이온빔 가공공정의 효율평가

Evaluation of Process Efficiency influenced by ion beam paths in Focused Ion Beam Processing

  • 김충수 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 안성훈 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 이길용 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 김형중 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 최정오 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 김동현 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 장동영 (서울과학기술대학교 산업정보시스템공학과)
  • 발행 : 2011.06.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드