한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.863-864
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- 2011
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- 2005-8446(pISSN)
파장주사간섭계를 이용한 실리콘 웨이퍼의 절대 두께 측정
Wavelength Scanning Interferometry for Absolute Thickness Measurements of Thin-Silicon Wafer
- Ghim, Y.S. ;
- Davies, A. ;
- Lee, Y.W.
- 발행 : 2011.06.01