Fabrication and application of micro pin array using laser beam machining and electrochemical etching

레이저 가공과 전해 에칭을 이용한 미세 핀 배열의 가공 및 응용

  • 이세원 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 신홍식 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 김한 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 정도관 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 주종남 (서울대학교 기계항공공학부)
  • Published : 2011.06.01