Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2011.06a
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  • Pages.787-788
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  • 2011
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Electron Optics Design and Analysis in Finishing Instruments using High Density Electron Beam

고밀도 전자빔 피니싱 공정에 이용되는 전자광학계의 설계 및 해석에 관한 연구

  • 박만진 (서울과학기술대학교 나노생산기술연구소) ;
  • 장동영 (서울과학기술대학교 산업정보시스템공학과) ;
  • 김승재 (서울과학기술대학교 나노생산기술연구소)
  • Published : 2011.06.01
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Abstract

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