한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.785-786
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- 2011
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- 2005-8446(pISSN)
이온빔 밀링을 위한 Cold hollow cathode ion source의 구조에 관한 연구
A study on the structural characteristics of Cold hollow cathode ion source for ion beam milling
- 발행 : 2011.06.01