한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.741-742
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- 2011
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- 2005-8446(pISSN)
후열처리에 따른 Bi-Te 열전박막의 미세구조 연구
Effect of post-annealing on the microstructure evolution of sputtered Bi-Te films
초록
XRD 결과와 TEM 분석으로부터 열처리효과에 따른 Bi-Te 박막의 미세구조 변화를 확인하였다.