Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2011.06a
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- Pages.741-742
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- 2011
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- 2005-8446(pISSN)
Effect of post-annealing on the microstructure evolution of sputtered Bi-Te films
후열처리에 따른 Bi-Te 열전박막의 미세구조 연구
Abstract
XRD 결과와 TEM 분석으로부터 열처리효과에 따른 Bi-Te 박막의 미세구조 변화를 확인하였다.