한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
- /
- Pages.641-642
- /
- 2011
- /
- 2005-8446(pISSN)
박막 태양전지를 위한 ZnO TCO 건식 식각에 관한 연구
A Study on ZnO TCO Dry Etching for Thin Film SolarCell
- 발행 : 2011.06.01