Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2011.06a
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  • Pages.611-612
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  • 2011
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Large-displacement XY-microstage driven by chevron-type thermal actuators

Chevron형의 열구동기가 집적화된 대변형 XY-마이크로스테이

  • 최영수 (전남대학교 기계공학과대학원) ;
  • 이동원 (전남대학교 기계시스템공학부)
  • Published : 2011.06.01
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Abstract

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Acknowledgement

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