Micro-CMM용 고민감성 진동 프로브의 설계

Design of a High Sensitive Vibrating Probe for Micro-CMM

  • 변정웅 (고려대학교 제어계측공학과) ;
  • 정재화 (고려대학교 제어계측공학과)
  • 발행 : 2011.06.01

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연구 과제 주관 기관 : 한국연구재단