한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

펄스 조건에 따른 갈륨비소의 산화 나노리쏘그라피 특성

Characteristics of GaAs Oxidation Nanolithography According to Pulse Condition

  • 김형철 (전북대학교 기계공학과) ;
  • 유종선 (전북대학교 기계공학과) ;
  • 류시형 (전북대학교 기계공학과)
  • 발행 : 2011.06.01
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