Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2011.06a
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  • Pages.589-590
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  • 2011
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Characteristics of GaAs Oxidation Nanolithography According to Pulse Condition

펄스 조건에 따른 갈륨비소의 산화 나노리쏘그라피 특성

  • 김형철 (전북대학교 기계공학과) ;
  • 유종선 (전북대학교 기계공학과) ;
  • 류시형 (전북대학교 기계공학과)
  • Published : 2011.06.01
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Abstract

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