공기베어링을 이용한 진공환경 운동전달용 피드스루

Motion Feedthrough using Air Bearing in Vacuum

  • 김경호 (한국기계연구원 나노융합시스템연구본부 초정밀시스템연구실) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 나노융합시스템연구본부 초정밀시스템연구실) ;
  • 황주호 (한국기계연구원 나노융합시스템연구본부 초정밀시스템연구실)
  • 발행 : 2011.06.01