Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
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Pages.459-460
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2011
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A study on the effect of hole-distribution on the showerhead of dry etcher using fluid flow analysis

건식 식각 장비용 샤워헤드의 형상에 따른 유동해석

고락현 (한국산업기술대학교 기계공학과) ;
이종길 (한국산업기술대학교 기계공학과) ;
홍주표 (한국기술교육대학교 디자인공학과)

Published : 2011.06.01

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Abstract

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