Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
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Pages.435-436
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2011
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Design and Compensation of Wide Area 5-Axis Vacuum Stage

대면적 진공용 5축스테이지의 설계 및 보정

이길영 (애니모션텍) ;
신동혁 (애니모션텍) ;
신승현 (애니모션텍) ;
정재일 (국민대학교) ;
정종규 (국민대학교)

Published : 2011.06.01

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Abstract

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