Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
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Pages.233-234
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2011
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Study on the Effect of a Pressurizing Head on the Shape of a Wafer in Mechanical Lapping of Sapphire

랭핑공정의 헤드가압방식에 따른 사파이어 웨이퍼 형상 변화 특성 연구

이태경 (한국생산기술연구원) ;
김형재 (한국생산기술연구원) ;
이상직 (한국생산기술연구원) ;
김도연 (한국생산기술연구원) ;
정해도 (부산대학교)

Published : 2011.06.01

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Abstract

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