Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2011.06a
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- Pages.205-206
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- 2011
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- 2005-8446(pISSN)
Micro-hole array fabrication on Al by electrochemical etching
알루미늄 미세 홀 전해에칭
- Jee, W.Y. ;
- Kim, H. ;
- Chung, D.K. ;
- Park, J.W. ;
-
Chu, C.N.
;
- Shin, Y.S. ;
- Lim, K.Y.
- 지원영 (서울대학교 기계학공공학부) ;
- 김한 (서울대학교 기계학공공학부) ;
- 정도관 (서울대학교 기계학공공학부) ;
- 박종욱 (서울대학교 기계학공공학부) ;
-
주종남
(서울대학교 기계학공공학부)
;
- 신용승 (삼성전자 제조기술센터) ;
- 임기열 (삼성전자 제조기술센터)
- Published : 2011.06.01